內(nèi)圓切片機 型號:OC911-QP-301D

主要技術(shù)指標：
切割晶圓尺寸：＜￠100mm
刀片規(guī)格：φ422mm×φ152mm ×0.15mm
切割晶棒長度：350mm
切割進給速度：1～99mm/min
切割返回速度：1～999mm/min

內(nèi)圓切片機 型號:OC911-QP-301D

送料進給步距偏差：±0.007mm (按1mm當量進給)
片厚設定范圍：0.01～40.00mm晶向調(diào)節(jié)
水平方向(X)±7o(分辯率2')
垂直方向(Y)±7°(分辯率2')
功耗：2.5KW,～380V±38V,50HZ±1HZ
空氣源：0.4~0.5MPa
觸摸屏：5.7英寸
外形尺寸：1100mm×660mm×2230mm
重量：1100kg
可選方案：
●￠422mm規(guī)格加深型刀盤配置方案，使片厚設定范圍可達58.00mm（QP-301T型）。
●￠457mm規(guī)格刀盤配置方案，使切割晶棒直徑可達￠105mm（QP-401型）。

內(nèi)圓切片機 型號:OC911-QP-301D

主要技術(shù)指標：
切割晶圓尺寸：＜￠100mm
刀片規(guī)格：φ422mm×φ152mm ×0.15mm
切割晶棒長度：350mm
切割進給速度：1～99mm/min
切割返回速度：1～999mm/min

內(nèi)圓切片機 型號:OC911-QP-301D

送料進給步距偏差：±0.007mm (按1mm當量進給)
片厚設定范圍：0.01～40.00mm晶向調(diào)節(jié)
水平方向(X)±7o(分辯率2')
垂直方向(Y)±7°(分辯率2')
功耗：2.5KW,～380V±38V,50HZ±1HZ
空氣源：0.4~0.5MPa
觸摸屏：5.7英寸
外形尺寸：1100mm×660mm×2230mm
重量：1100kg
可選方案：
●￠422mm規(guī)格加深型刀盤配置方案，使片厚設定范圍可達58.00mm（QP-301T型）。
●￠457mm規(guī)格刀盤配置方案，使切割晶棒直徑可達￠105mm（QP-401型）。